▲ 원익머트리얼즈 부스 전경.

원익머트리얼즈가 자사의 Si 기반의 전구체들과 N₂O(아산화질소), GeH₄(사수소화게르마늄) 등 특수가스를 반도체 소재 최대의 시장인 대만에 선보이며 대만 및 아시아 시장 공략을 위한 비즈니스 활동을 전개했다.

원익머트리얼즈는 지난 9월13일부터 15일가지 대만 타이페이 난강 전시장에서 개최된 ‘세미콘타이완 2017’에 참가했다.

이번 전시회에서 원익머트리얼즈는 실리콘(Si) 기반의 전구체인 ‘HCDS(Si₂Cl?)’, ‘3DMAS’, ‘BDEAS’와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 전구체 ‘Cp-Zr’ 등을 소개했다.

HCDS(Si₂Cl₆)은 반도체 칩 생산 공정에 필요한 고순도 전구체로 고품질의 실리콘 산화막이나 질화 실리콘 박막 증착을 추가하면 실란 또는 디클로로실란의 저온 대안 물질로 활용할 수 있다.

이들 전구체 제품은 최근 반도체 미세화공정화의 흐름과 3D 핀펫(FinFET) 등 신기술이 도입되면서 사용량이 급격히 증가하고 있고, 고객사의 수요도 다양화 되고 있다.

최근 신규 시설 투자가 마무리 된 오창 3공장에서 본격적으로 HCDS 및 HCDS 합성기술을 활용한 Si 베이스 전구체를 생산할 것으로 기대되며, 주력인 특수가스 이외에 반도체용 소재 시장에서도 본격적으로 두각을 나타낼 것으로 전망되고 있다.

더불어 자사의 주력 제품인 전자산업용 특수가스 NH₃(암모니아), NO(일산화질소), N₂O(아산화질소), GeH₄(사수소화게르마늄), Si₂H₆(디실란) 등도 소개했다.

한편 원익머트리얼즈는 최근 3D낸드 및 OLED 등 전방 산업 호조에 특수가스 판매가 늘며 호실적을 거두고 있다.

특히 올해 하반기에는 관련 산업 성장과 함께 Si 베이스 전구체의 본격 생산에 들어갈 예정이며, 또한 성장하고 있는 중국 반도체 시장을 겨냥해 N₂O(아산화질소) 등 특수가스를 생산하는 공장을 중국 현지에 설립할 예정이다.