버슘머티리얼즈가 기존의 성능보다 뛰어난 도펀트 가스 흡착기술을 상용화 하는데 성공했다. 또한 국내 시화공단에 새로운 도펀트 가스 충전설비를 건설할 계획을 밝혔다.

버슘머티리얼즈(Versum Materials)는 원자력 공학 재료의 가스전달, 분리 및 정화 시스템을 설계·통합하는 업체인 누맛 테크놀로지스(NuMat Technologies)와 아르신, 포스핀, 삼불화붕소와 같은 도펀트 가스(dopant gas)의 안전한 저장 및 전달을 위한 생산라인에 대한 글로벌 상용화 계약을 체결했다고 지난 31일 발표했다.

이 새로운 제품라인의 명칭은 ION-X®로 혁신적인 MOFs(Metal Organic Frameworks, 금속-유기물 골격)를 바탕으로 대기압 이하의 압력에서 초고순도 가스를 선택적으로 흡착, 저장 및 전달할 수 있다.

회사 관계자는 ION-X®가 반도체 기기 제조업체들에게 기존의 이온 주입 공정에 사용되는 탄소기반 흡착 기술보다 뛰어난 성능을 제공한다고 밝혔다.

짐 미니쿠치 버슘머티리얼즈 공정재료 아시아 본부장은 “누맛과 버슘은 각자의 분야에서 선도적인 입지를 확보하고 있으며 이를 결합해 누맛은 독자적인 MOFs를 제조하고 버슘은 세계적인 입지를 활용해 ION-X® 제품을 제조하고 상용화해 전세계에 유통할 것”이라고 말했다.

이어 “특수가스 분야에서 쌓아온 오랜 경험을 기반으로 우리는 한국 시화공단에 위치한 공장에 새로운 도펀트 가스 충전 설비를 설계 및 건설할 계획이라고 밝혔다.

에드 쇼버 버슘머티리얼즈 재료 수석부사장은 “ION-X®는 새롭고 차별화된 성장 기회를 의미하며 우리의 공정재료 사업을 보완하고 더 나아가 특수가스 제조 및 공급업체로서 핵심적인 경쟁력을 제공해준다”고 말했다.