▲ SK쇼와덴코 식각가스공장 착공식에서 (左부터) SK머티리얼즈 임민규 대표, SK쇼와덴코 이규원 대표, 일본 쇼와덴코 YagishitaMasamichi 전자재료 사업부장, SK㈜ 이용욱 PM3실장, 한국 쇼와덴코 MitsuyoshiEmori 대표, SK머티리얼즈 최창흠 경영혁신실장 등이 기념촬영에 응하고 있다..

SK머티리얼즈가 반도체산업에서 수요가 늘고 있는 CF계 식각가스 생산에 나서며 세계적인 특수가스 메이커로 도약할 전망이다.

SK머티리얼즈(대표이사 임민규)는 26일 영주 공장 부지 내에서 합작 자회사인 SK쇼와덴코(대표이사 이규원)의 식각가스생산공장 착공식을 진행했다고 밝혔다. 이 날 착공식에는 임민규 SK머티리얼즈 대표, 이규원 SK쇼와덴코 대표, 파트너사인 일본 쇼와덴코의 사업부장, 우병윤 경상북도 경제부지사, 장욱현 영주시장을 비롯한 도의원, 시의원등 지역관계자 등이 참석했다.

SK쇼와덴코는 반도체, 디스플레이용 특수가스 제조 회사인 SK머티리얼즈와 세계 식각가스생산 1위 기업인 일본 쇼와덴코의 합작회사로서 전량 수입에 의존하고 있던 3D낸드용 고부가가치 식각가스의 국산화를 진행하기 위해 지난해 12월 합작법인 설립 계약을 체결하고,SK머티리얼즈 51%, 일본 쇼와덴코 49%의 지분율로 지난 6월1일 법인설립이 완료됐다.

이번 식각가스 공장 건설에는 210억원이 투자되며 오는 12월까지 연산 20톤 규모의 CF계 식각가스 생산설비가 구축될 계획이다. 이는 세계 최대 생산규모다.

식각가스란 실리콘 웨이퍼 상의 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 공정인 식각 과정에 사용되는 특수가스로 반도체 미세화 공정 및 3D낸드 확산에 따라 식각가스 수요도 급격히 늘어나고 있다.

특히 SK쇼와덴코가 생산할 가스는 3D낸드 적층화에 따라 사용량이 급증하고 있는 CF계 식각가스로 회사는 2018년 1월부터 고객사 테스트를 진행해 2분기부터는 매출을 본격화 한다는 계획이다.

이로써 NF₃(삼불화질소), SiH₄(모노실란), WF6(육불화텅스텐) 등 특수가스 국산화에 성공한 SK머티리얼즈는 SK트리켐 합작법인을 통한 반도체용 프리커서소재 사업, 식각가스 사업 등을 잇따라 추진하면서 세계적인 반도체용 특수소재 전문기업으로 발돋움하게 됐다.

이규원 SK쇼와덴코 대표는 “공장 건설기간 동안 안전 관리에 집중하여 사고없는 안전한 건설을 진행하고자 최선을 다할 것이며, 향후 SK쇼와덴코를 세계적인 식각가스 회사로 키워나갈 것” 이라고 밝혔다.