▲ 원익머트리얼즈 부스전경.

원익머트리얼즈가 자사의 Si 기반의 전구체들을 전시회에서 선보이며, 반도체 소재기업으로서의 면모를 대중에게 알렸다.

원익머트리얼즈는 ‘세미콘코리아 2017’에서 실리콘(Si) 기반의 전구체인 ‘HCDS(Si₂Cl₆)’, ‘3DMAS’, ‘BDEAS’와 지르코늄 기반의 High-k 유전체 전구체 ‘Cp-Zr’ 등을 소개했다.

HCDS(Si₂Cl₆)은 반도체 칩 생산 공정에 필요한 고순도 전구체로 고품질의 실리콘 산화막이나 질화 실리콘 박막 증착을 추가하면 실란 또는 디클로로실란의 저온 대안 물질로 활용할 수 있다.

이들 전구체 제품은 최근 반도체 미세화공정화의 흐름과 3D 핀펫(FinFET) 등 신기술이 도입되면서 사용량이 급격히 증가하고 있고, 고객사의 수요도 다양화 되고 있다.

최근 신규 시설 투자가 마무리 된 오창 3공장에서 본격적으로 HCDS 및 HCDS 합성기술을 활용한 Si 베이스 전구체를 생산할 것으로 기대되며, 주력인 특수가스 이외에 반도체용 소재 시장에서도 본격적으로 두각을 나타낼 것으로 전망되고 있다.

한편, 원익머트리얼즈는 반도체 소재 이외에도 NH₃(암모니아), NO(일산화질소), N₂O(아산화질소), GeH₄(사수소화게르마늄), Si₂H₆(디실란) 등 특수가스를 반도체, LCD, LED, AMOLED 산업에 공급하고 있다.