세계 1위 NF₃(삼불화질소) 생산기업인 SK머티리얼즈(대표 임민규)가 고부가 식각가스 생산에 나서며 종합 반도체 소재기업으로 거듭나고 있다.

SK머티리얼즈는 일본 쇼와덴코(ShowaDenko)와의 합작법인(JV) 설립 계약을 지난 18일 체결하고 CF계 식각가스 사업을 추진한다고 밝혔다. 초기 투자금액은 210억원 규모이며 합작법인 사명은 ‘SK쇼와덴코’로 지분율은 SK머티리얼즈가 51%, 일본 쇼와덴코가49%이다.

식각가스란 실리콘 웨이퍼 상의 필요 부분만 남겨두고 나머지 물질을 제거하는 반도체 공정인 식각과정에 사용되는 특수 가스다. 향후 반도체 미세화 공정 및 3D낸드 확산에 따라 식각가스 수요도 급격히 늘어날 것으로 전망되고 있다. 업계에 따르면 CF계 식각 가스의 시장규모는 2016년 2,500억원 수준이며, 일부 제품의 경우 당장 내년 하반기부터 공급 부족을 겪을 것으로 예상되고 있다.

이중 SK쇼와덴코는 3D낸드 적층화에 따라 사용량이 급증하고 있는 CF계 식각가스를 국내 영주공장에서 생산할 예정이다. 이에 CH₃F(플루오르메탄) 1차 생산설비 20톤을 내년 8월까지 건설 완료하고, C₄F₆(육불화부타디엔) 등 고부가 CF계 가스 사업도 순차적으로 추진 할 예정이다. 또한 양사는 3D 낸드확산에 맞춰 생산 설비 증설 및 중국 등 세계시장에서 설비 확장에 나서는 등 다양한 반도체·디스플레이 소재 사업 협력도 적극 추진할 예정이다.

쇼와덴코는 CF계 식각가스 세계 1위 기업으로 불소계 특수가스 전 제품 라인업과 원천 기술을 보유하고 있으며 북미·유럽·중국 등에 판매망을 보유하고 있어 SK머티리얼즈의 식각가스 시장 진입이 탄력을 받을 전망이다.

SK머티리얼즈 관계자는 “식각가스 분야 최고 수준의 기술을 가진 쇼와덴코사와의 합작법인을 통해 식각가스시장 조기 진입이 가능해졌다”며 “기존 NF₃, SiH₄(모노실란), WF₆(육불화텅스텐) 등 주력제품에서 벗어나 제품 다각화에 성공하며 ‘종합반도체 소재 기업’으로 본격 성장할 것으로 기대한다”고 밝혔다.

한편 SK머티리얼즈는 지난 2월 SK에 인수된 이후 지난 4월 SK에어가스를 인수해 산업가스 사업에 진입했으며 5월에는 합작법인인 SK트리켐을 설립해 프리커서 분야로도 진출하는 등 발빠른 행보를 보이고 있다. 회사는 향후에도 미국과 일본 등 반도체 소재 선도국 업체들과도 추가적인 사업 협력관계를 구축한다는 계획이다.