▲ 어플라이드머티어리얼즈가 새롭게 출시하는 전자빔 검사(E-Beam Review, EBR) 시스템.

어플라이드머티어리얼즈(AMAT)가 디스플레이 제작 공정 중 패널 쪼갬 없이도 인라인 고해상도 전자빔으로 주요 결함을 효과적으로 잡아내는 시스템을 개발했다.

어플라이드머티어리얼즈가 디스플레이 업계 최초로 인라인(inline) 고해상도 전자빔 검사(E-Beam Review, EBR) 시스템을 출시한다고 26일 밝혔다.

회사 관계자는 해당 시스템을 통해 유기발광다이오드 및 초고화질 액정표시장치(UHD LCD) 제작사는 수율 극대화를 달성하고 시장에 신규 디스플레이 컨셉을 내보낼 수 있게 될것이라 전했다.

차세대 디스플레이는 갈수록 더 많은 공정 단계를 거치게 되는데, 이 과정에서 아주 미세한 오염물질이 자주 발생되어 새로운 형태의 결함을 발생시킨다.

현재 사용되고 있는 디스플레이용 인라인 자동광학결함검사장비는 중대한 결함 및 사소한 결함의 구분 그리고 체계적인 결함 원인 발견에 있어 주사전자현미경(SEM)에 비해 효과적이지 않다.

그러나 기존의 SEM 분석의 경우, 유리 기판을 조각조각 쪼갠 후 개별 조각을 현미경으로 검사해야 해 비용과 시간이 많이 들뿐 아니라 전체 패널에서 결함의 위치가 어디인지 판별하기가 거의 불가능하다는 단점이 있었다.

이에 어플라이드머티어리얼즈는 기존 단점을 해결한 신규 인라인 EBR 기술을 탄생시켰다. 이번 신규EBR 시스템은 이러한 단점 없이 가장 빠르고 효과적으로 모바일 기기 및 TV 용 첨단 디스플레이의 주요 결함을 발견하고 문제를 해결할 수 있도록 돕는다.

어플라이드머티어리얼즈 디스플레이 분야 및 글로벌 서비스 담당 부사장 겸 책임자 알리 살레푸어(Ali Salehpour)는 “어플라이드머티어리얼즈의 신규 EBR 시스템은 자사가 가지고 있는 기존의 강력한 디스플레이 부문 장비 라인 중 가장 최신 제품으로, 고객사들이 OLED 및 LCD 제조 상 발생하는 주요 문제를 해결할 수 있도록 돕는다”고 밝혔다.

“자사만의 독자적인 반도체 산출 기술 및 패널 수준의 주사전자현미경 기술을 통해 잠재 시장을 확장할 수 있게 되었으며, 수율 저하를 줄여 고객사의 수익을 극대화할 수 있도록 했다”고 밝혔다.

한편, 어플라이드머티어리얼즈는 이미 6곳의 세계 최대 디스플레이 생산사가 어플라이드머티어리얼즈의 EBR 시스템을 주문한 상태이라 전했다.