반도체 리소그래피용 레이저 광원 주요 제조업체인 일본의 기가포톤(대표 토마루 히토시)이 고객사의 비용절감과 친환경 기술 확대를 위해 레이저 방출 효율 향상과 전력소비 저감 노력을 이어간다.

기가포톤은 ‘그린 이노베이션’의 새로운 로드맵을 지난 6일 발표했다. 회사는 지난 2003년부터 고객사 환경 영향 저감과 비용 절감을 위해 동 로드맵을 추진하고 있으며 이번 계획은 2020년까지 첨단 리소그래피 공정에 요구되는 레이저 출력을 향상시키면서 전력 소비량을 절반으로 줄이는 기술을 개발하는 것을 목표로 하고 있다.

기가포톤은 그간 그린이노베이션을 실현하기 위한 에코포톤(EcoPhoton™) 프로그램을 통해 수급이 불안정하고 가격이 급격히 상승하고 있는 네온과 헬륨가스 사용을 줄이는 기술을 고객사에게 제공해왔다. 지난 2013년엔 헬륨을 질소로 대체해 헬륨 사용량을 99% 줄이는 기술을 개발했으며 2014년엔 네온 가스 사용량을 최대 50%까지 줄일 수 있는 eTGM 기술을 개발했다. 지난해에는 레이저 방출 효율을 20% 끌어올림으로써 레이저 성능은 그대로 유지하면서 전력 소비량을 15%까지 절감할 수 있는 eGRYCOS 기술을 선보인 바 있다.

이번에 공개한 새 로드맵을 통해 기가포톤은 배출 가스에서 불순물을 제거해, 실린더에서 공급되는 신선한 가스와 동등한 수준의 순도를 구현하는 네온 가스 재활용 시스템을 개발한다. 이는 네온 소비를 제로 수준에 가깝게 줄일 수 있는 기술이다. 헬륨도 질소로 대체하면서 광학적 특성은 훼손시키지 않고 더 높은 안정성을 유지하는 기술을 개발할 계획이다.

토마루 히토시 기가포톤 대표이사는 “기가포톤은 최고 우선 순위 중 하나인 그린 이노베이션을 바탕으로 이니셔티브를 실행하고 있다”며 “이는 친환경 녹색 공장을 현실화하는 동력이 되고 있으며 이 같은 노력에 많은 고객사의 호평을 얻고 있다”고 말했다. 이어 “고객사에 유용한 기술과 서비스를 계속 제공할 수 있도록 노력을 더해 갈 계획”이라고 강조했다.