▲ (왼쪽)임민규 SK머티리얼즈 대표와 다즈케 기요시 트리케미칼 대표가 계약 후 악수를 나누고 있다.(사진제공 : SK머티리얼즈).

반도체 특수가스 및 소재전문기업 SK머티리얼즈(대표 임민규)가 반도체 전구체(프리커서) 사업에 본격 진출한다.

SK머티리얼즈는 16일 서울 사무소에서 임민규 대표와 트리케미칼사의 키요시 타즈케 대표가 참석한 가운데 생산·연구개발·판매를 위한 합작법인 설립 계약을 체결했다고 밝혔다.

초기 투자금액은 200억원 규모로 지분율은 SK머티리얼즈가 65%, 트리케미칼사가 35%다. 합작법인의 사명은 SK트리캠이다. 합작법인은 오는 6월 세종시 명학산업단지 내에 프리커서 제조공장을 착공하고 내년 초부터 생산에 들어갈 예정이다.

트리케미칼사는 반도체 제조에 가장 많이 쓰이는 지르코늄계 프리커서를 세계 최초로 양산한 전문기업이다. SK머티리얼즈는 트리케미칼사의 해외 영업망을 활용해 중국, 일본, 대만 등 시장에 진출한다는 계획이다.

SK머티리얼즈 관계자는 “합작법인 설립 후 차세대 제품 공동 개발을 통해 주력제품인 삼불화질소(NF3) 외에 고부가 프리커서 분야에서도 독보적인 기술력을 보유하게 될 것”이라고 밝혔다.

한편 전구체는 반도체 회로 위에 여러 화합물을 균일하게 증착하는 유기금속화합물로 반도체 CVD/ALD(원자층 증착법) 등 공정에 쓰이는데 시장 규모가 연간 7천억원 정도다. 최근 삼성전자가 18nm DRAM 양산에 들어가면서 ALD 전구체 수요도 증대될 것으로 기대되고 있다.

평균 영업이익률이 30%에 달할 정도로 대표적인 고부가 반도체 소재로 알려져 있으며 국내에서는 원익머트리얼즈, 에어리퀴드, 디엔에프, 유피케미칼 등이 전구체를 생산하고 있다.