세계적인 산업가스 및 엔지니어링기업 린데코리아(스티븐 셰퍼드)는 2015년 매출 2,556억원, 영업이익 397억원, 당기순이익 312억원을 기록했다고 최근 공시했다. 이는 전년대비 각각 11%, 33%, 42% 늘어난 수치다.
이러한 실적호조는 반도체 미세화 공정에 따른 특수가스 판매확대와 함께 CO₂ 세척기, 노벡(Novec) 1230과 HFC-125 등 수동식 소화기에 들어가는 친환경 소화약제 등 신규 사업아이템의 본격적인 매출 창출에 따른 것이다.
린데코리아는 국내 삼성전자, SK하이닉스, LG디스플레이 등 반도체 및 디스플레이 고객사에 F₂(불소), HCL(염화수소), N₂O(아산화질소), XeF₂(플루오르화크세논) 등 100가지가 넘는 특수가스와 혼합가스를 공급하고 있다. 이중 린데는 반도체제조 공정 중 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 챔버를 세정하는데 쓰이는 친환경 F₂를 온사이트로 공급하는데 반도체 미세화로 사용량 늘어나면서 매출 확대에 기여하고 있다.
자동차, 전자, 화학산업 등에서 사용되는 장비, 금형, 표면, 웨이퍼 등 세척에 필요한 린데의 액체탄산 세정 솔루션인 ‘CRYOCLEAN®snow(자동표면 클리닝)’도 지난해 국내 고객사에 처음 공급되면서 매출을 창출했다. CRYOCLEAN®snow는 드라이아이스 팰릿 대신 액체탄산을 특수설계된 챔버에 주입해 생기는 고체 미세입자로 장비를 세정할 수 있는 제품으로 기존 공정보다 덜 강력하지만 비싼 드라이아이스 팰릿을 사용하지 않아 더 경제적으로 다양한 분야에 사용할 수 있다.
린데코리아의 올해 실적도 반도체 특수가스 수요확대와 함께 지난해 10월 준공한 서산 제4공장의 본격 가동 등으로 인해 한층 더 성장할 것으로 예측되고 있다.