▲ TSC 예쿠엔퐁 총괄이사(右)와 대니 우 공장장이 신소재경제 참관단에게 회사에 대해 소개하고 있다..

대만 특수가스 및 케미칼 전문생산기업 TSC(Taiwan Special Chemicals Corporation)가 잇따른 증설과 신규 생산 아이템 개발을 통해 도약의 발판을 마련하고 있다.

본지가 반도체용 산업가스 및 소재부품, 소프트웨어를 공급하는 업계를 중심으로 구성한 세미콘 타이완 참관단은 지난 4일 대만 장화현 해안공업지대에 위치한 TSC(Taiwan Special Chemicals Corporation)를 방문했다. 이날 TSC에서는 예쿠엔퐁 총괄이사(부사장), 대니 우 공장장 등 임직원이 나와 회사소개와 사이트 투어를 진행했다.

TSC는 지난 2013년 3월에 설립된 신생 특수가스 및 케미컬 전문기업으로 반도체, LCD, 태양전지 생산에 필요한 모노실란(SiH₄)과 디실란(Si₂H₆)을 직접 생산하고 있는 기업이다. 모노실란 순도는 6N(99.9999%), 디실란 순도는 4N8(99.998%)로 전자산업용에 적합하다. 생산을 시작한지는 1년 남짓하고 현재 가동률을 올리고 있는 시점이라 생산량은 모노실란 월 2톤, 디실란 100kg에 불과하지만 오는 10월부터 내년까지 두차례에 걸친 증설을 계획 중이다.

예쿠엔퐁 총괄이사는 “1차로 내년 7월까지 연간 모노실란 250톤, 디실란 15~30톤 설비를 구축하고 2차로 11월까지 모노실란 500톤, 디실란 50톤 설비 구축을 완료할 예정”이라며 “이에 따라 임직원수도 현재 87명에서 153명으로 크게 늘릴 계획”이라고 밝혔다.

TSC 설비는 일본 코마츠의 기술로 구축됐으며 생산기술은 대만 연구소 및 대학에서 개발한 기술을 채택했다. 회사의 생산공정은 기존 지멘스 공법과 달리 저온·저기압에서 생산이 가능하며 클로라이드(염화물)를 사용하지 않기 때문에 더 안전하고 저렴하다는 장점이 있다.

TSC는 현재 생산시설외에 Y실린더 충전소, 튜브트레일러 충전소, 제품 및 원자재성분 분석실, 하수처리장 등을 갖추고 있다. 회사는 지난해 11월 ISO 9001 품질인증을 획득했다.

회사는 향후 7N급 고순도 암모니아(NH₃) 및 암모니아수(NH₄OH), 5N급 산화알루미늄(Al₂O₃) 파우더, 질화 알루미늄(AlN) 분말, 산질화 알루미늄(AlON) 분말 등을 출시할 예정이다. 이들 가스 및 소재는 LCD, LED, 방열기판, 터치패널 등 생산에 필요한 것으로 제품 포트폴리오를 강화하기 위한 초석이다.

예쿠엔퐁 TSC 총괄이사는 “현재 실란계 특수가스를 대만시장은 물론 에이전트를 통해 중국, 한국시장에도 공급하고 있으며 미국, 일본시장 개척도 준비하고 있다”며 “독자기술과 철저한 안전관리를 바탕으로 특수가스 및 케미칼 전문기업으로 도약하는데 최선을 다하겠다”고 밝혔다.

▲ 신소재경제 참관단과 TSC 임직원들이 정문에서 기념촬영을 하고 있다..

▲ TSC 생산공장 외부 전경.