원익머트리얼즈(대표 이건종)가 신규 전구체 공장 및 연구동 등 신규 시설투자에 나선다.

원익머트리얼즈는 6일 신규시설투자에 관한 공시를 통해 279억원의 투자를 실시한다고 밝혔다.

이번 투자는 지속 성장 가능한 신규 사업 포트폴리오 확보와 반도체 기술변화 및 고객사 신규라인 증설에 따른 전구체 수요 증가에 대응하기 위해 이뤄졌다.

또한 HCDS 및 HCDS 합성기술을 활용한 Si 베이스 전구체 국산화를 추진하고 고객사의 요구에 대응 가능한 신규소재 개발 능력 확대에 나선다.

투자기간은 2015년 8월6일부터 2016년 12월31일까지며, 신규 시설 예정지는 충북 청주시 청원구 오창읍 양청리 655-2에 마련됐다. 부지는 지난 2015년 4월 135억원을 투자해 이미 취득해 놓은 것으로 알려졌다.

전구체 설비투자에는 HCDS 합성 및 정제시설과 기타 전구체를 생산할 수 있는 퓨처룸(Future room)이 포함돼 있는 것으로 전해졌다.

한편 HCDS(Si₂Cl₆)은 반도체 칩 생산 공정에 필요한 고순도 전구체로 고품질의 실리콘 산화막이나 질화 실리콘 박막 증착을 추가하면 실란 또는 디클로로실란의 저온 대안 물질로 활용할 수 있는 것으로 알려졌다.