▲ 에어리퀴드 코리아 부스 전경.

에어리퀴드코리아(대표 클리스토퍼 클라크)가 반도체 첨단소재를 전시회에 선보이며 그 역량을 확인했다.

에어리퀴드코리아는 지난 2월4일부터 6일까지 서울 코엑스에서 개최된 세미콘 코리아 2015에 참가했다.

이번 전시회에서 회사는 원자층 증착(ALD) 및 화학기상증착(CVD) 전구체 및 소재 솔루션 브랜드인 ‘ALOHA™’를 집중 홍보했다.

‘ALOHA™’는 하이-K(고 유전상수 유전체), 기판공정(FEOL) 및 배선공정(BEOL)용 금속, BEOL 용 유전체 등에 사용되는 70여종의 전구체 포트폴리오로 구성돼 있다.

이번 전시회에서 소개된 ‘ALOHA™’ 제품군은 반도체 공정에 적용되고 있는 △TSA(트리실릴아민) △SAM.24™(실란디아민) △HCDS △ZyALD △Hfcl₄ △CCTBA/CoCp(CO)₂△Molly △New Nickel molecule △New Rare Earth molecules 등이다.

에어리퀴드는 현재 ‘ALOHA™’ 중 30개에 달하는 품목을 반도체기업과 협력을 통해 시험테스트를 진행 중이다. 반도체 산업 특성상 까다로운 품질을 요구하고 테스트 기간도 오래 걸리지만 향후 2년내에 가시적인 성과가 있을 것으로 기대되고 있다.

우선 가장 기대를 모으는 제품은 반도체 제조용 고급 실리콘(Si) 전구체(precursors)인 TSA와 SAM.24™다.

이들 제품은 지난해 5월 에어리퀴드가 경기도 화성시 장안 1 첨단산업단지에 구축한 AMCK(Advanced Materials Center Korea)에서 생산 중인 제품으로 1분기 중 테스트를 완료하고 국내 유수의 반도체기업에 본격 공급될 예정이다.