▲ 에어프로덕츠코리아 부스 전경.

에어프로덕츠코리아가 반도체, 디스플레이, 태양광 등 전자 분야에 사용되는 특수가스 공급능력을 전시회에서 과시했다.

에어프로덕츠코리아는 지난 2월4일부터 6일까지 서울 코엑스에서 개최된 세미콘 코리아 2015에 참가했다.

회사는 이번 전시회에서 NF3 및 전구체 제품의 공급능력을 보였다. 회사는 NF3 연 1,200톤의 생산 시설을 보유하고 있다. 또한 전구체 시장에서도 적극적인 활동을 보이고 있다. 현재 반월 공장에서 2종류의 전구체 제품을 생산하는 것으로 전해졌으며, 시장상황에 따라 10여종으로 확대한다는 계획이 있는 것으로 알려지고 있다.

에어프로덕츠코리아의 전자부문은 40년 이상의 경험을 바탕으로 고객이 원하는 수준의 고순도 가스와 소재, 전자산업에의 공급시스템 등에서 글로벌 공급자로서 시장을 이끌고 있다.

현재 전 세계 반도체 시장에 특수 가스 및 케미칼, 벌크가스와 가스 및 케미칼 공급 장비를 공급하고 있으며, 도핑, 증착, 리소그래피, 스트리핑, 에칭, CMP, 포스트 CMP 크린 및 크리닝을 비롯한 디바이스 제조의 각 단계에 제품을 공급하고 있다.

에어프로덕츠코리아가 제공하는 반도체용 가스에는 HCl, SiF₄, CF₄, NF₃, BCl₃, NH₃, ClF₃, C₅F₈, WF₆, CH₂F₂, GeH₄, CHF₃, C₄F₈, PH₃, C₃H₆, C₂F₆, C₄F₆ 등이 있다.

더불어 에어프로덕츠코리아는 광범위한 특수가스 포트폴리오와 가스 공급 장비 시스템, 반도체 제조 공정을 최적화할 수 있는 숙련된 전문가를 지원하고 있으며, LED와 LED 디스플레이용 특수가스 및 가스 공급 시스템을 지원한다.