▲ SEMICON Korea 2015에 참여한 전선규 미코 대표이사가 부스에 방문한 해외 바이어들에게 자사 제품을 설명하고 있다. .

반도체용 세라믹 소재부품 전문기업 미코(대표 전선규)는 지난 4~6일 코엑스에서 열린 세미콘코리아에서 세라믹 히터(AlN Heate)r, 세라믹 ESC(정전척) 등 약 21종의 소재부품과 세정 솔루션을 소개했다.

미코의 주력 제품인 플라즈마 화학 증착 장비(PE-CVD) 공정용 세라믹 히터는 회사가 지난 2012년 국산화에 성공한 이래 지난해 상반기에 누적 판매량이 1천대를 돌파할 정도로 기술력을 인정받고 있다. 이에 세라믹 히터로만 지난해 163억원의 매출을 올렸고 또한 세라믹 히터의 적용 범위도 반도체 CVD공정 전체로 확대되면서 올해는 200억 이상의 매출을 기대하고 있다.

특히 ‘Two Zones’ 세라믹 히터는 열선이 중간과 바깥부분에 두군데 설치돼 있어 기존 ‘One Zone’에 비해 발열시 온도편차가 거의 없다. 세라믹 히터는 반도체 공정 중 챔버 내에서 웨이퍼를 증착할 때 챔버의 온도를 균일하게 유지하는 역할을 하기 때문에 ‘Two Zones’ 세라믹히터는 삼성, SK하이닉스, 원익IPS는 물론 미국에 납품되고 있다.

이밖에 에칭공정 상 정전기 방지용으로 사용되는 세라믹 ESC(정전척)도 자체 국산화한 세라믹 시트를 활용한 제품으로 미국 회사에 공급되고 있다.

전선규 미코 대표이사는 “높은 기술력과 품질을 보유한 세라믹 히터에 대한 글로벌 반도체 장비 회사들의 호평이 이어지고 있다”며 “향후에도 단순한 부품 업체를 넘어, 반도체 장비 회사들을 선도하고 같이 성장하는 기술 중심의 파트너로서 자리매김 할 것”이라고 강조했다.

한편 미코는 고체산화물 연료전지(SOFC) 관련 페이스트에서부터 버튼셀, 단전지, 스택까지 다양한 제품군을 바탕으로 200W, 500W, 1kW 규모의 스택 제품군을 보유하고 있다. 회사는 조만간 2.5kW 규모의 제품을 선보일 예정이다.