▲ 최성근 하니웰 애널리틱스 이사가 자사 제품을 설명하고 있다. .

포춘(Fortune)지가 선정한 100대 기업 중 하나인 하니웰이 반도체 공정중 누출되면 인체에 유해한 가스들을 10억분의 1 농도에서 검출할 수 있는 정밀한 검출기를 선보였다.

하니웰의 여러 사업부 중에서 유해 가스 검출기만을 생산하는 하니웰 애널리틱스는 이번 세미콘 코리아2015를 통해 반도체 공정기업들의 산업 안전에 기여할 수 있는 유해가스 검출기를 2월4일부터 6일까지 전시한다.

가스 캐비넷 용부터 반도체 공정 전체에 쓰이는 산업용까지 다양한 검출기를 선보인 하니웰은 기기 한 대를 통해서 40여가지 유해 물질을 검출할 수 있다고 설명했다.

이는 서로 다른 작용기와 반응하는 9가지 종류의 시험지가 붙어있는 검출기에 직접 접촉에 의한 화학반응으로 즉각적으로 검출이 가능하기 때문에 가능한 일이다.

암모니아, 브롬화 수소, 염화수소, 시안화수소, 요오드화 수소, 실란, 사염화실리콘 등을 포함한 40여 가지 물질들 중에서 인체에 흡입 혹은 접촉시 유해하게 작용할 수 있는 작용기는 9가지 종류로 압축되기 때문이다.

이들을 모두 분류해 해당하는 작용기와 반응하는 시험지를 만들고 아주 미량만 누출이 돼더라도 반응할 수 있도록 PPB 수준까지 정밀도를 높인 것이다.

NF3와 같이 직접 접촉으로 반응할 수 없는 물질 같은 경우 가열해서 N과 F를 분리한 후 상대적으로 농도가 높아 검출이 쉬운 F를 검출하는 방식으로 기기를 구성하고, 반응물질과 합성물질을 분리배출하는 노즐을 구비하는 등 쉽게 검출할 수 없는 영역의 유해 가스 까지도 검출이 가능하다.

때문에 국내 굴지의 반도체 기업 S사의 반도체 공정에는 100% 하니웰 애널리틱스의 유해가스 검출기가 설치돼 있다.

최성근 하니웰 이사는 “변화하는 반도체 기술과 공정에 빠르게 대응해 어떠한 유해가스도 인체에 해를 가할 수 없도록 정밀함과 검출 가스를 다양화 하기 위해 꾸준히 노력할 것”이라고 밝혔다.

▲ 하니웰 애널리틱스는 세미콘 코리아 2015에 자사의 유해가스 검출기를 선보여 반도체 공정 관계자들의 뜨거운 관심을 받았다. .