▲ 에어리퀴드코리아 전자사업부 송상우 상무가 원자층 증착(ALD) 및 화학기상증착(CVD) 전구체 및 소재 솔루션 브랜드인 ‘ALOHA™’와 AMCK 공장을 소개하고 있다..

“에어리퀴드는 반도체 케미컬 등 첨단소재를 미래성장 아이템으로 정하고 투자를 집중하고 있습니다. 산업가스 전문기업에서 첨단신소재기업으로 도약하며 업계를 선도하는 기업이 되겠습니다.”

세계적인 산업가스 및 전자재료기업 에어리퀴드의 한국법인 에어리퀴드코리아(대표 크리스토퍼 클라크)는 지난 12월3일부터 5일까지 삼성동 코엑스에서 열린 ‘2014 국제신소재 및 응용기술전’에서 부스를 꾸리고 ‘ALOHA™’를 홍보했다.

‘ALOHA’는 원자층 증착(ALD) 및 화학기상증착(CVD) 전구체 및 소재 솔루션 라인업을 일컫는 브랜드다. 이에 속해있는 제품으로는 하이-K(고 유전상수 유전체), 기판공정(FEOL) 및 배선공정(BEOL)용 금속, BEOL 용 유전체 등에 사용되는 70여종의 전구체 포트폴리오를 구성하고 있다.

이번 전시회에서 소개된 ‘ALOHA’ 제품군은 반도체 공정에 적용되고 있는 △TSA(트리실릴아민) △SAM.24™(실란디아민) △HCDS △ZyALD △Hfcl₄ △CCTBA/CoCp(CO)₂△Molly △New Nickel molecule △New Rare Earth molecules 등이다.

국내에서 ‘ALOHA’ 사업을 담당하고 있는 에어리퀴드코리아 전자사업부 송상우 상무는 “현재 반도체 첨단소재가 회사 전체 매출에서 차지하는 비중이 10% 미만에 불과하지만 회사는 향후 미래성장 아이템으로 점찍고 투자를 확대하고 있다”고 밝혔다. 반도체 미세공정화가 진행됨과 동시에 3D 핀펫(FinFET) 등 신기술이 도입되면서 신소재의 중요성이 날로 커지고 있기 때문이다. 송 상무는 “세계적인 반도체회사인 삼성전자, SK하이닉스에서도 에어리퀴드 ‘ALOHA’의 기술성과 혁신성을 인정하고 적극적으로 신제품에 적용을 추진하고 있다”고 설명했다.

에어리퀴드는 현재 ‘ALOHA’ 중 30개에 달하는 품목을 반도체기업과 협력을 통해 시험테스트를 진행 중이다. 반도체 산업 특성상 까다로운 품질을 요구하고 테스트 기간도 오래 걸리지만 송 상무는 향후 2년내에 가시적인 성과가 있을 것으로 기대했다.

우선 가장 기대를 모으는 제품은 반도체 제조용 고급 실리콘(Si) 전구체(precursors)인 TSA와 SAM.24™다. 이들 제품은 지난 5월 에어리퀴드가 경기도 화성시 장안 1 첨단산업단지에 구축한 AMCK(Advanced Materials Center Korea)에서 생산 중인 제품으로 내년 1분기 중 테스트를 완료하고 국내 유수의 반도체기업에 본격 공급될 예정이다.

송 상무는 “지난 2007년 ALOHA가 한국에 본격 소개된 이래 회사의 지속적인 투자와 관심으로 이제야 비로소 결실을 맺게 됐다”며 “고객사의 요구에 적극 대응하고 시장흐름 상황에 맞는 아이템에 투자를 강화해 첨단신소재기업으로 자리매김 하겠다”고 밝혔다.