반도체용 특수가스 전문 생산업체 코아텍(주) (대표 문영환)의 모노실란 (SiH4) 시장 진출이 막바지에 이르렀다.
수년간의 연구 끝에 원천기술을 확보, 지난해 자체 기술로 모노실란 제조에 성공한 코아텍은 지난달 제조설비 검사를 마치고 시운전을 앞두고 있다.
코아텍은 지난 1999년 법인을 설립하고 벤처기업으로 지정받은 2000년부터 각종 반도체 공정용 유독가스 처리약제를 삼성전자에 납품하는 등 견실하게 출발했다.
이후 2005년 이산화탄소 정제시설, 2006년 고순도 암모니아 정제시설, 2007년 고순도 염소, 브롬화수소 정제시설을 완공하는 등 특수가스 전문 업체로 자리를 굳건히 했다.
그리고 그동안 특수가스 제조에서 얻은 노하우로 모노실란 시장 진출을 모색해 온 지난 수 년간의 노력이 이제 막 결실을 맺으려 하고 있는 것이다.
모노실란은 반도체 제조 공정 중트랜지스터 생성 시 기판에 산화막을 형성하는 데 쓰이는 특수 가스로 반도체, LCD 제조에도 사용돼 왔으나 사용량으로 치면 박막형 태양광 전지 제조에 훨씬 많이 사용된다.
특히 최근 태양광에너지가 관심을 받으면서 태양광전지 생산이 급증하고 있어 모노실란 시장의 고도성장이 예상되고있다.
또한 태양광 발전의 핵심소재인 폴리실리콘 역시 파일럿 플랜트 가동에 성공해 모노실란과 함께 코아텍의 '제2의 도약'을 견인할 것으로 기대되고 있다.
현재 한창 마무리 작업 중인 모노실란 생산설비는 연간 생산능력이 200톤 규모로 알려졌다.
이로써 코아텍의 사업영역은 기존의 초고순도 암모니아(NH3)를 비롯한 고순도 특수가스와 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 백금(Pt) 등 촉매, 유해가스 제거용 환경약제, 드라이스크러버 등 환경 장비, 오존(03)이나 질소산화물 (Nox), 황산화물(SOx)제거용 필터에 이어 모노실란과 폴리실리콘의 반도체 재료 분야까지 포함하게 됐다.