국내 특수가스 및 케미칼 4社가 ‘세미콘코리아 2014’에 참가해 자사의 첨단 반도체 솔루션을 소개했다.

▲ (왼쪽부터)이수연 에어프로덕츠코리아 사장, 제프리 핸델만 글로벌 세일즈 부사장, 유재운 부사장이 자사의 부스에서 제품과 기술을 홍보했다..

■ 에어프로덕츠코리아

에어프로덕츠코리아(대표 이수연)는 IC, 디스플레이, LED, 태양광 등 전자 분야에서 사용되는 특수가스 홍보에 나섰다.

에어프로덕츠코리아의 전자부문은 40년 이상의 경험을 바탕으로 고객이 원하는 수준의 고순도 가스와 소재, 전자산업에의 공급시스템 등에서 글로벌 공급자로서 시장을 이끌고 있다.

에어프로덕츠는 전 세계 반도체 시장에 특수 가스 및 케미칼, 벌크가스와 가스 및 케미칼 공급 장비를 공급하고 있다.

또한 도핑, 증착, 리소그래피, 스트리핑, 에칭, CMP, 포스트 CMP 크린 및 크리닝을 비롯한 디바이스 제조의 각 단계에 제품을 공급하고 있다.

에어프로덕츠코리아가 제공하는 반도체용 가스에는 HCl, SiF₄, CF₄, NF₃, BCl₃, NH₃, ClF₃, C₅F₈, WF₆, CH₂F₂, GeH₄, CHF₃, C₄F₈, PH₃, C₃H₆, C₂F₆, C₄F₆ 등이 있다.

더불어 에어프로덕츠코리아는 광범위한 특수가스 포트폴리오와 가스 공급 장비 시스템, 반도체 제조 공정을 최적화할 수 있는 숙련된 전문가를 지원하고 있으며, LED와 LED 디스플레이용 특수가스 및 가스 공급 시스템을 지원한다.

■ 원익머트리얼즈

▲ 이건종 원익머트리얼즈 대표.

원익머트리얼즈(대표 이건종)는 반도체용 고순도 암모니아(NH₃)를 비롯해 차세대 디스플레이 소재로 관심이 급증하고 있는 아산화질소(N₂O)와 일산화질소(NO, 플래시 메모리 반도체 열처리 공정에 사용), 디실란(Si₂H₆, 반도체 확산 및 CVD 공정에 사용), 저메인(GeH₄, 반도체· LCD 및 박막형 태양전지 실리콘게르마늄막 형성) 등 일련의 제품군들을 중점 홍보했다.

원익머트리얼즈의 NH₃는 반도체, LCD 및 결정계 태양전지 공정에서는 모노실란(SiH₄)과 결합해 실리콘나이트라이드(Si₃N₄)의 절연막을 증착시키는데 사용되며, LED제조공정에서는 트리메틸갈륨(TMGa)과 결합해 질화갈륨(GaN)막질을 증착시키는데 사용된다. LED 제조공정에서는 최고순도인 7N(99.99999%)의 순도를 제공한다.

원익머트리얼즈의 반도체 고객사는 삼성전자, SK하이닉스반도체, 동부하이텍, 매그나칩반도체, 페어차일드반도체, 한국전자 등이며, FPD분야에서는 삼성디스플레이, 하이디스테크날러지, 동우화인켐, BOE 등이 있다. LED시장에서는 삼성전자 LED사업부, LG이노텍 등의 고객사를 보유하고 있다.

원익머트리얼즈는 어려운 경제여건에서도 2013년 전년 대비 18.9%가 증가한 1,309억원의 매출을 기록했으며 영업이익은 266억원, 순이익은 204억원을 기록했다.

■ 에어리퀴드코리아

▲ 송상우 에어리퀴드코리아 상무.

1996년 설립 이후, 국내 산업발전과 함께 성장해온 에어리퀴드코리아(크리스토퍼 클라크)는 석유화학, 전자, 철강산업을 포함한 국내 주요 산업분야에 산업용 가스 및 관련 서비스를 공급해 오고 있다.

이번 전시회에서 에어리퀴드코리아는 질소를 생산하는 APSA기술과 전자 사업부의 ALOHA를 홍보했다.

에어리퀴드코리아의 APSA기술은 기존 PSA(압력순환흡착)공정 대비 50% 이상의 전기료 절감이 가능해 탁월한 원가절감 효과가 있다.

또한 에어리퀴드의 원격운전 프로그램인 TELEFLO 서비스를 통한 질소 소비 효율을 최적화한다.

더불어 액체질소와 동일한 순도의 기체질소를 생산하고 98% 이상의 높은 가동률을 보이고 있다.

ALOHA 제품 생산라인은 전자산업을 위한 모든 최신의 CVD, ALD 전구체를 포함하고 있다.

반도체 제조가 나노스케일 수준이 되면서 에어리퀴드의 전구체 기술은 마이크로일렉트로닉스 제조에 사용되는 박막 재료의 전기 및 기계적 성능 향상에 도움을 주고 있다.

현재 ALOHA 시설에서 생산되고 있는 첨단 전구체 제품은 △고급 DRAM용 2세대 ZrO₂ high-k(고유전율) 물질을 위한 ALOHA의 독점적 전구체인 ZyALD △패터닝 및 갭필과 같은 32nm 이하 용도를 위한 전구체로 메모리 및 고급 논리칩에 사용되는 실리콘 전구체 △High-k/메탈게이트 전구체 △구리 캡핑이나, DRAM 커패시터 전극 베리어등의 용도로 사용되는 금속화 전구체(Metallization precursors) △첨단 백엔드 유전 스택에 사용되는 Low-k(저유전율) 전구체와 보조 물질 △Resistive(ReRAM) 과 Phase Change (PCRAM) 메모리 소자와 같은 신소자용 신물질 등이 있다.

■ ATMI

반도체용특수 소재 및 재료 패키징 전문 업체인 ATMI(한국대표 장성규)는 이번 전시회에서 우수한 안정성과 성능을 자랑하는 가스 시스템 기술인 SDS 가스실린더와 최첨단 브라이트팩(BrightPak) 보틀 패키징 기술을 선보였다.

반도체의 이온 주입공정에서 사용되는 SDS 가스 실린더시스템은 대기압 보다 낮은 압력으로 유독가스인 포스겐 등을 원반모양의 탄소 흡착제에 저장하고 전달한다. 최대 1,500그램을 저장할 수 있으며 누출의 염려가 전혀 없어 주요 반도체 메이커들이 널리 사용하고 있다.

특수 플라스틱소재로 만든 브라이트팩 보틀(Bottle)은 포토 리소그래피 애플리케이션에서 사용되는 약품을 담는다.

기존 유리병이 충격에 깨지는 단점을 보완한 것으로 작업자들이 더 안전하면서 다루기 쉽고 더욱 깨끗하게 사용하도록 돕는다.

ATMI는 오는 4월경 경기도 화성 장안공장에서 반도체공정용 임플란트 가스를 시작으로 Wet Cleaning, Advanced Packing 제품 등을 본격 생산할 예정이다.