Update2024.09.28 (토)
주성엔지니어링은 내부 아킹을 방지할 수 있는 플라즈마 챔버관련 국내 특허를 취득했다고 25일 자율공시를 통해 밝혔다.
이번 특허의 주요내용은 반도체와 평판디스플레이(FPD), 태양전지 제조장치에 사용되는 플라즈마 챔버에서 플라즈마 이상 아킹과 같은 방전을 방지하기 위해서 챔버 내부 부품의 결합방법 개선 기술에 관한 특허이다.
