일본 신에너지산업기술종합개발기구(NEDO), 리쓰메이칸대학, (주)크리스탈광학이 희소금속 세륨의 사용량을 절반으로 줄인 연마패드 개발에 성공했다.
연마패드는 디스플레이 패널과 하드디스크 드라이버 등 유리기판 최종 연마에 사용되는 부품이다. 일본 연구진은 연마패드에 많이 사용되는 우레탄 수지에 높은 친수성을 가진 에폭시 수지 또는 폴리이미드 수지를 첨가함으로써 연마능률을 기존에 비해 2배로 높이는데 성공했다.
이에 기존 대비 절반 정도의 시간으로 연마가 가능하게 돼 연마재로 사용되는 희소금속 세륨의 사용량을 절반으로 줄인 효과를 가져온 것이다.
기존 연마패드에서는 연마액이 튀겨 구형태가 되지만, 개발한 연마패드는 친수성이 높아 연마액이 젖은 상태로 퍼진다. 또한 마무리 면의 거침정도가 우수해 최종제품의 성능도 향상시킬 수 있다.
이번에 개발한 연마패드는 다양한 지립과 조합시켜 유리뿐만 아니라 LED용 사파이어 기판 및 실리콘 등 반도체 기판에도 사용될 수 있다고 연구팀은 설명했다.
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