Update2024.05.07 (화)
반도체 제조용 기계를 제조하는 원익아이피에스(대표 이문용)가 ‘상변화 메모리 제조 방법’ 특허를 취득했다.
이번에 취득한 특허는 상변화막 증착 시 컨택 플러그 증착 후 상변화막을 연속적으로 증착해 공정 단계를 단축하는 상변화막 메모리 증착 방법으로 회사는 이 특허를 통해 자사의 반도체 장비 경쟁력 강화될 것으로 기대하고 있다.
