불소화합물 전문기업인 후성의 울산 NF₃(삼불화질소) 충전장이 폭발해 한명이 크게 다치는 사고가 발생했다.

소방당국에 따르면 지난 3일 오후 3시16분 경 울산 남구 매암동에 위치한 후성 NF₃(삼불화질소) 충전장에서 순간 폭발로 인한 화재로 근로자 이모씨가 얼굴 등에 3도 화상을 입고 충전소 건물과 내외부가 파손되고 근처 임야에도 불이 옮겨 붙는 사고가 발생했다.

이날 사고는 충전소에서 가스 이송 차량에 세정가스를 충전하는 과정에서 차량의 가스 주입구와 세정가스 밸브 사이에 틈이 생겨 마찰열이 생기면서 가스 밸브가 폭발, 화재가 난 것으로 소방당국은 추정하고 있다.

회사 측은 이날 사고로 NF₃가 30∼40㎏ 정도 유출됐지만 이 물질은 인체에 해가 없다고 밝혔다. 그러나 물질안전보건자료(MSDS)에 따르면 NF₃는 눈이나 피부에 접촉시 자극과 화상을 일으킬 수 있으며 흡입시 구역, 구토, 두통, 호흡곤란, 천식, 피부청색증, 경련 등을 일으킬 수 있는 독성가스라고 명시돼 있다.

한편 NF₃는 반도체, LCD, 태양전지 제조과정에서 CVD 챔버내 잔류물을 세정하는데 쓰이는 가스다. 후성은 연 600톤을 생산하고 있으며 삼성전자, SK하이닉스, LG디스플레이 등에 납품하고 있다.