반도체용 기계제조 기업인 원익아이피에스(대표 이문용)가 반도체 제조 장비용 신규 특허를 획득했다. ‘기판 이송 장치 및 그 동작 방법’이란 명칭으로 지난 14일 등록 확정된 이번 특허는 처리될 기판의 이송 시간을 단축시키고 정확한 위치에 기판을 놓기 위한 장치 및 방법에 대한 것이다. 원익아이피스에서는 이 특허를 자사 반도체 장비 경쟁력 강화를 위해 활용한다는 계획이다.
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