▲ ▲이노메이트의 HBr 충전설비. ▲이노메이트의 HBr 충전설비

㈜이노메이트가 반도체 제조에서 에칭공정에 사용되는 특수가스인 HBr(브롬화수소) 생산에 본격 나서며 종합 특수가스 메이커로 도약하고 있다.

이노메이트(사장 오재철)는 30억원을 투자해 지난 5월 완공한 HBr생산공장에서 시운전을 거쳐 이달부터 생산을 개시했다고 밝혔다.

생산규모는 월 10톤으로 순도는 현재 국내에 유통되고 있는 5N(99.999%)급보다 우위인 5N5(99.9995%)에 달한다.

이노메이트의 생산설비는 제품 품질과 안전을 고려하며 회사 자체기술로 만들어졌다는데 큰 의의가 있다.

회사는 오래 전부터 준비한 특허를 바탕으로 자체기술로 설계에서 시공까지 마무리했다. 또한 매우 강한 부식성을 가지고 있는 HBr을 담을 용기의 소재를 스테인리스 대신 니켈합금(Hastelloy)으로 대체했다.

충전방식에 있어서도 이노메이트가 자체 개발한 저온충전방식을 사용, 충전시간을 단축하고 컴퓨레셔를 사용해 충전할 때 발생하는 불순물(IMPURITY)을 최소화시켰다.

작업자 안전성과 편의성을 고려해 모든 제조공정은 자동화시켰고 HBr의 불순물과 수분을 분석하는 전용분석기를 갖춰 제품의 신뢰도를 높였다.

이노메이트 관계자는 “이번 생산설비 준공으로 회사의 제품군인 NO(일산화질소), CF₄(사불화탄소), SiH₄(모노실란), Si2H₆(디실란), SiH₄Mix(모노실란 혼합가스), Si2H6(디실란 혼합가스) Mix, PH₃Mix(포스핀 혼합가스)에 HBr이 추가됐다”며 “전 세계적으로 HBr을 생산하는 업체가 극소수여서 수입대체 및 수출로 이어질 것으로 기대한다”고 밝혔다.