▲ 전선규 미코그룹 회장이 한국세라믹학회 추계학술대회에서 기조강연을 하고 있다.

고객사 필요 솔루션 적극 대응, 수입의존 세라믹 히터·정전척 국산화 성공 결실

미래 먹거리 연료전지 양산 투자 지속, 세라믹 중요성 높아져 위기를 기회로 전환해야

글로벌 반도체 부품 전문기업으로 도약하고 있는 미코그룹의 전선규 회장이 인공지능(AI) 시대 도래와 글로벌 공급망 불안에 따라 세라믹 소재부품의 중요성이 날로 높아지고 있어 위기를 기회로 전환해야 한다고 강조했다.

1일 삼성동 코엑스 컨퍼런스룸에서 개최된 한국세라믹학회 추계학술대회에서 기조강연을 맡은 전선규 미코 회장은 ‘세정과 코팅에서 소재와 에너지로-고객의 고민을 미래기술로 전환한 미코그룹의 도전’을 주제발표했다.

미코그룹은 지난 1996년 울산대학교 창업보육센터 한켠에서 코미코(KoMiCo)라는 이름으로 반도체 장비 부품 세정과 재생 사업을 시작했다. 이를 통해 코팅 기술을 축적하고 국내 반도체 업계의 성장에 따른 소재부품 내재화 요구에 적극 대응해 세라믹 소재와 첨단 부품으로 사업영역을 확장해 왔다.

이를 통해 미코그룹은 세정, 코팅, 세라믹 등 핵심기술 융합을 기반으로 서비스 공급자를 넘어 고객과 미래가치를 함께 창출하는 솔루션 공급자로 성장했으며, 국내외 생산거점 확대와 고기능성 세라믹 부품 사업 확장을 통해 글로벌 소재부품 전문기업으로 도약하고 있다.

미코그룹은 2000년대 반도체 식각·증착 공정에서 웨이퍼를 고정하고 공정 환경을 안정화하는 핵심부품인 클램프링(Clamp Ring)을 세정하는 사업을 통해 본격 성장하기 시작했다. 클램프링은 보름에 한 번씩 오염물질을 세정하고 한 달 이상 사용하면 폐기해야 해서 반도체 업계는 원가부담을 절감하기 위해 혁신적인 세정 솔루션이 필요한 상황이었다.

미코그룹은 클램프링 세정 사업을 성공하면서 국내 반도체 공정 효율성 및 장비수명 향상에 기여했다. 나아가 반도체 챔버 내부에 들어가는 부품에 대한 코팅 사업과 세라믹 부품 제작 사업으로 확장을 추진했다.

전선규 회장은 “반도체 장비의 핵심 부품인 세라믹 부품은 만들 때 마다 품질이 일정하지 않고 생산 기간과 테스트 기간이 오래 걸려 납기가 중요한 반도체 산업에서는 이를 해결하는 것이 관건”이라며 “과거 반도체 산업에서는 해외 수입에 의존하고 있어 적기 수급에 어려움이 컸기 때문에 세라믹 ESC(정전척) 등 핵심 부품 국산화를 추진하게 됐다”고 밝혔다.

그러나 세라믹 ESC가 매출이 발생하는데 10년이나 걸렸을 정도로 개발 과정에서 수많은 시행착오를 겪었다. 미코그룹은 이에 좌절하지 않고 국산화에 대한 일념과 장비사와 사용 고객사의 신뢰를 바탕으로 전사적인 노력을 통해 결국 성공을 거뒀다.

또한 미코그룹은 반도체 증착 공정에서 사용되는 PE-CVD 장비용 고온 세라믹 히터 국산화를 추진했다. 당시 세라믹 히터는 해외 기업이 독점하고 있는 핵심 부품으로, 주문하면 7개월이나 걸릴 정도여서 국내 반도체 산업의 경쟁력 향상을 위해선 납기를 줄이는 것이 반드시 필요했다.

미코그룹은 세라믹 히터 납기를 2~3주로 단축시키며 업계를 놀라게 했다. 전선규 회장은 이러한 성공은 임직원들의 국산화에 대한 열정과 땀이 있었기에 가능했다고 강조했다. 미코그룹은 첨단 패키징에 필요한 세라믹 펄스 히터 국산화도 성공하면서 글로벌 장비사들과도 협력을 확대하고 있다.

미코그룹은 반도체 중심의 사업구조를 다각화하고 탄소중립과 분산전원 솔루션으로 각광받고 있는 연료전지 사업을 미래 먹거리로 적극 육성 중이다. 세라믹 기반의 연료전지인 SOFC는 650℃ 이상의 고온에서 동작하여 발전효율이 50% 이상으로 매우 높기 때문에 막대한 전력을 안정적으로 공급해야하는 AI 데이터센터 등에 적용 가능한 분산발전원으로서 주목받고 있다.

미코그룹은 2011년부터 개발한 고체산화물연료전지(SOFC) 시스템을 본격 양산하기 위해 현대중공업파워시스템을 인수했으며 SOFC 양산라인을 새로 구축 중이다.

전선규 회장은 “대규모 투자를 통해 GW 단위의 양산라인을 구축하는 것이 목표”라며 “SOFC 상용화를 통해 확보한 기술과 노하우를 바탕으로 탄소중립에 따라 글로벌 시장에서 수요가 높아지고 있는 신재생에너지 등 전기를 이용해 청정수소를 생산하는 SOEC(고체산화물 전해전지) 사업도 확대할 계획”이라고 밝혔다.

전 회장은 AI 고도화에 따라 반도체 호황이 상당기간 이어질 것이며 유리기판 등 새로운 세라믹 소재부품 수요가 확대되면서 세라믹 산업의 사업 기회가 창출될 것으로 전망했다. 또한 미·중 무역 갈등 등으로 인해 세라믹 산업의 기초소재인 희토류 등 수급이 불안정해지고 소재부품 공급망 다변화가 추진되고 있어 위기를 기회로 전환하기 위한 노력이 필요한 시점이라고 제언했다.

전 회장은 “반도체 소부장 국산화가 어느정도 진전됐으나 선진 기업들과 비교하면 경쟁력이 부족한 것이 사실”이라며 “이는 앞으로 할 일이 많고 사업 기회도 많다는 것을 의미하기 때문에 산학연관 협력을 더욱 강화할 필요가 있다”고 강조했다.

▲ 전선규 미코그룹 회장(左)이 이기성 세라믹학회 회장으로부터 기조강연 감사패를 받고 있다.