▲ 두진 곽태영 팀장(右)을 비롯한 관계자들이 세미콘 타이완 2026 전시 부스에서 초저온 진공단열배관 등 자사 핵심 기술과 제품을 소개하고 있다.

‘세미콘 타이완 2026’ 참가, 반도체용 이중진공배관·진공호스·압력용기 전시

초저온 진공단열 기술을 기반으로 반도체 및 산업용 초저온 설비를 공급해온 ㈜두진(대표 곽양규)이 세계 반도체 산업의 중심지인 대만에서 축적된 기술력과 반도체 적용 실적을 선보이며 글로벌 시장 확대에 나섰다.

두진은 지난 9월2일부터 4일까지 대만 타이베이 난강전시센터에서 열린 ‘세미콘 타이완 2026‘에 참가해 초저온 진공단열배관(VIP·Vacuum Insulated Pipe), 초저온 진공단열밸브, 반도체용 진공단열호스, 초저온 압력용기 등 초저온·진공단열 제품군을 소개했다.

특히 두진은 이번 전시에서 반도체 제조공정의 안정적인 초저온 냉매 공급을 뒷받침하는 진공단열배관 시스템을 핵심 제품으로 내세웠다.

▲ 두진의 초저온 진공단열배관(VIP)은 이중배관 사이를 고진공으로 단열해 외부 열 침입을 차단하고 초저온 액화가스의 기화 손실을 최소화한다.

진공단열배관은 초저온 액화가스 등 냉매를 이송하기 위한 이중배관 구조로, 액화가스가 흐르는 내부 배관과 외부 배관 사이를 고진공 상태로 유지해 외부로부터의 열 침입을 차단하는 기술이다. 이를 통해 초저온 액화가스가 이송 과정에서 기화되는 손실을 최소화하고 냉매를 안정적으로 공급할 수 있다.

반도체 제조현장에서는 공정 조건을 정밀하게 유지하기 위한 초저온 냉매 공급 인프라의 중요성이 높아지고 있다. 후공정에서는 액화질소(LN₂)를 활용한 저온 테스트 과정에서 테스트 장비까지 냉매를 안정적으로 공급하기 위해 진공단열배관이 적용되며, 에칭·노광 등 미세공정에서도 칠러와 공정장비 사이의 초저온 냉매 이송에 활용된다.

특히 반도체 공정은 온도 변화가 공정 안정성과 수율에 영향을 미치는 만큼 냉매를 필요한 지점까지 일정한 조건으로 공급하는 것이 중요하다. 이에 따라 진공단열배관은 단순한 유체 이송 배관을 넘어 반도체 생산설비의 안정적인 운전을 뒷받침하는 핵심 인프라로 자리 잡고 있다.

두진은 국내 반도체 산업에 진공단열배관을 적용해온 오랜 경험을 바탕으로 관련 기술력을 축적해왔다. 1995년 국내 최초로 삼성전자 온양캠퍼스 반도체 후공정 테스트라인에 진공단열배관을 납품·설치한 것을 시작으로 현재까지 반도체 분야에서 약 50km에 달하는 납품 실적을 확보했다.

2020년대 이후에는 삼성디스플레이의 폴리코드 칠러(POLY COLD CHILLER)에 진공단열배관 및 진공호스 시스템을 국내 최초로 적용했으며, 이후 CVD·PVD·진공챔버 관련 장비업체 등으로 적용 범위를 확대해왔다.

두진의 경쟁력은 진공단열배관 단품 공급에 그치지 않는다. 진공단열배관 시스템을 비롯해 핵심 진공부품인 베요넷(Bayonet), 가스 트랩(Gas Trap), 진공밸브, 진공호스와 초저온 압력용기까지 초저온·진공 시스템을 구성하는 주요 제품군을 자체 설계 역량과 제조·품질관리 경험을 기반으로 공급하고 있다.

초저온 시장 확대와 함께 진공단열배관의 적용 분야가 넓어지는 가운데 제품의 설계 및 품질 안정성 역시 중요한 경쟁요소로 부상하고 있다. 두진은 최근 액화수소 등 국내 초저온 시장이 확대되면서 관련 설비 수요가 증가하고 있는 만큼 반도체를 비롯한 고신뢰성 산업에서 요구되는 설계 품질과 제조 신뢰성을 지속적으로 높인다는 방침이다.

진민경 두진 설계팀 과장은 “최근 액화수소 등 국내 극저온시장 확대로 진공단열배관 시장도 확대되고 있지만 저가를 앞세운 검증되지 않은 제품과 유사 제품이 시장에 공급되면서 품질과 안전성에 대한 우려도 커지고 있다”며 “반도체 생산과 같이 막대한 자본이 투입되는 주요 산업에서는 설비의 안정적인 운전과 생산 차질 방지를 위해 검증된 기술과 품질이 중요하다”고 말했다.

이어 “설계팀은 BAYONET(MVE, LINDE HQK, AirForce(AF), ISO CRYOENCO 등) 다변화, 가스 트랩, 진공밸브, 진공호스 등 핵심 진공부품을 비롯해 초저온 압력용기와 진공단열배관 시스템의 설계 및 품질 수준을 더욱 고도화해 국내 시장은 물론 해외 시장 확대에도 기여하겠다”고 전했다.

두진은 국내 시장에서 축적한 반도체 적용 경험을 해외 시장으로 확대하기 위한 기반도 마련하고 있다. 2026년 베트남 현지 사무소를 개설한 두진은 삼성전자 베트남 및 앰코테크놀로지 관련 프로젝트를 수주하며 현지 사업을 추진하고 있다. 국내 반도체 생산라인에서 축적한 진공단열배관 적용 경험을 바탕으로 해외 반도체 생산거점으로 사업 영역을 넓혀가고 있는 것이다.

이번 세미콘 타이완 참가 역시 글로벌 시장 확대를 위한 행보의 일환이다. 대만은 세계 주요 반도체 기업과 장비·소재 기업이 집적된 핵심 반도체 시장인 만큼 두진은 이번 전시회를 통해 반도체용 초저온·진공단열 솔루션을 알리고 현지 고객 및 글로벌 장비기업과의 접점을 확대한다는 계획이다.

곽태영 두진 팀장은 “이번 세미콘 타이완 참가를 발판으로 대만 시장뿐만 아니라 싱가포르와 동남아시아 등 신규 시장 진입을 위한 영업 활동을 적극적으로 이어갈 계획”이라고 설명했다.

두진은 지난 33년간 국내 초저온 장비 및 진공단열 기술 분야에서 진공단열배관과 초저온 탱크 등의 공급 및 국산화를 추진하며 현장 적용 경험을 축적해왔다. 장기간 축적된 시공 실적과 제조·품질관리 역량을 기반으로 안정적인 제품 공급과 품질 신뢰성을 확보하고, 반도체를 비롯한 초저온 산업의 글로벌 공급망에서 기술 경쟁력을 확대해 나간다는 전략이다.