▲ 에어퍼스트 양한용 대표(右)와 G-gas Deng Tao CEO가 업무협약 체결후 기념촬영에 응하고 있다.

산업가스 전문기업 ㈜에어퍼스트가 국내 반도체 산업 공급망 강화를 위해 제조 환경에 최적화된 ASU(Air Separation Unit:공기분리장치)의 국산화를 추진한다.

에어퍼스트(대표 양한용)의 100% 자회사인 AF E&C는 중국 고순도 질소 설비 전문기업 Guanggang Gases Engineering(G-gas)과 전략적 업무협약(MOU)을 체결하고, ASU를 공동 개발한다고 6일 밝혔다.

양사는 이번 협약을 통해 G-gas의 독자적인 Super-N 기술과 기본 설계, AF E&C의 ASU 엔지니어링 및 EPC 역량을 결합해 초고순도 질소 생산·공급 설비를 공동 개발하고 국내 시장에서 사업화할 계획이다.

특히 양사는 국내 반도체 제조시설의 초고순도 품질 기준과 무중단 운영 요건을 충족하는 반도체용 ASU 개발에 착수한다. AF E&C는 국내 반도체 고객의 요구사항을 반영한 상세 설계와 엔지니어링, EPC(설계·조달·시공)를 수행하고, G-gas는 OEM 방식으로 설비를 제작한다. 완성된 설비는 국내 반도체 시장에 공급하는 것을 목표로 한다.

AF E&C는 공정흐름도(PFD), 배관계장도(P&ID), 주요 장비의 구성 및 사양 등을 구체화하고, 국내 고객사의 운전 환경과 유지보수 편의성을 반영해 설비의 안전성과 운영 효율성을 높일 계획이다.

또한 이번 협력을 통해 해외 기술을 국내 반도체 제조 환경과 고객 요구에 맞게 최적화하고, 반도체용 ASU의 상세 설계와 엔지니어링 역량을 내재화함으로써 국내 공급체계를 단계적으로 확대해 나갈 방침이다.

양한용 에어퍼스트 대표는 “이번 협력은 G-gas의 검증된 기술과 AF E&C의 ASU 엔지니어링 역량을 결합해 국내 반도체 제조 환경에 최적화된 ASU를 공동 개발하고 국산화를 추진한다는 데 의미가 있다”며 “에어퍼스트의 국내 사업화 역량과 풍부한 운영 경험을 기반으로 안정성과 경제성을 모두 갖춘 초고순도 질소 생산·공급 설비를 공급할 계획”이라고 말했다.

한편 에어퍼스트는 이번 협력을 기반으로 국내 반도체 산업에 대한 안정적인 초고순도 질소 공급 역량을 확대하는 한편, 핵심 가스 생산설비의 공급망 안정성과 엔지니어링 경쟁력을 지속적으로 강화해 나갈 계획이다.