▲ (左부터) 한양이엔지 시스템BU 백인학 상무와 김가인 대리, 권철현 부장이 화학물질 중앙공급장치 CCSS 중 ‘Modular Unit-Transfer’ 장치에 대해 설명하고 있다.

반도체, 디스플레이 등 첨단 산업과 플랜트, 가스, 환경 등 다양한 산업 분야의 근간이 되는 종합엔지니어링 솔루션을 제공하고 있는 한양이엔지(대표 김윤상, 이종근)가 화학물질 전 과정 통합관리시스템의 고도화 및 무인화를 위한 기술개발을 통해 안전성과 생산성 혁신을 추진한다.

1982년 한양기공으로 시작해 1988년 설립된 한양이엔지는 외국 기업이 국내 반도체 유틸리티 시스템 분야를 독점하고 있던 상황에서 끊임없는 연구개발과 함께 과감한 기술도입을 통해 유틸리티 시스템 분야를 국내 최초로 시공하는데 성공함으로써 외국기술 의존도를 탈피해 우리나라 산업의 경쟁력을 높이는데 일조해 왔다.

또한 전자산업과 신재생에너지 사업에 광범위하게 사용되며 첨단 제품의 생산에 필수적인 화학물질 중앙공급장치 CCSS(Central Chemical Supply System)를 1990년도에 최초로 국산화에 성공해 합리적인 가격으로 국내에 공급함으로써 한국 첨단제품의 가격 경쟁력과 관련 장비산업의 기술발전에 큰 기여를 했다. 이에 지난 2007년에는 세계 일류상품으로 선정되기도 했다.

CCSS는 초정밀 화학물질의 공급·이송·혼합·폐기의 전 과정을 통합 관리하는 장비로, 반도체 및 디스플레이 공정이 초미세화·고밀도화·고도화 되면서 공정 내 가스와 화학물질도 초고순도 상태를 유지해 공급돼야 하기 때문에 그 역할이 점점 더 중요해 지고 있다.

게다가 국내 시흥·평택·용인 등에 위치한 대규모의 반도체 공장 부지와 다층 구조 속 방대한 생산설비들이 분할된 인프라에서 반도체 전 공정에 필요한 화학약품을 원격으로 공급하기 위해서는 다양하고 고도화된 통합 시스템이 필요하다.

▲ 한양이엔지의 화학물질 중앙공급장치 CCSS 중 ACQC(Automatic Clean quick Coupler)(左) 장치와 ‘Modular Unit-Supply’장치(右)

한양이엔지의 CCSS는 △ACQC(Automatic Clean quick Coupler) △저장·운반 △VMB(Valve Monitoring Box) △블렌딩(Mixing) △공급(Supply) 시스템으로 구성돼 있는데,ACQC 시스템은 탱크로리에 담긴 케미컬을 대용량 저장탱크에 이송하기 위한 커플러 연결과정에 자동 세정 및 건조기능을 추가해 외부적 오염을 방지하며 이송 과정에서 탱크로리 가압과 배기를 도와 안전하게 이송 될 수 있도록 도와준다.

저장·운반 시스템은 대용량 저장소의 약품을 고성능 펌프를 이용해 먼 거리의 공급 대상 설비에 이송 또는 공급 설비로 유량을 분배한다. 압력손실 및 수두 등 설계 조건을 고려해 안정성을 확보할 수 있다.

VMB 시스템은 공급장치에서 양산 설비로 공급 중 여러 대의 양산 설비로 분산시켜 주기 위한 밸브들이 조합된 장치며, 블렌딩(Mixing) 시스템에서는 각각 공급 받은 화학약품을 양산 설비에서 요청하는 정밀 농도로 희석과 혼합을 진행 후 공급한다.

화약약품의 최종 공급을 담당하는 공급(Supply) 시스템은 불순물을 제거한 화학약품을 탱크에 저장하고 질소가스 가압을 통해 고품질 필터를 한 번 더 거쳐 공급한다.

한양이엔지는 그동안 지속적인 연구개발을 통해 믹싱 부문 등 혼합장치의 생산을 일체형이 아닌 조립식으로 변경해 장치를 만드는 기간을 단축시키고, 장치를 수리할 때 각 부문의 간섭을 받지 않도록 해 안정성을 높이기도 했다.

또한 반도체 세정 공정에 필요한 화합물의 초정밀한 농도를 혼합·유지 할 수 있는 SC1-Mixing System 장치를 개발하기도 했으며, CCSS 유닛의 자동화 업그레이드를 추진해

그동안 1:1 진행됐던 ACQC 시스템을 하나의 로봇이 3~4개 공급 장치에 화학물질을 공급 할 수 있도록 멀티 자동화 시스템을 개발, 무인화 및 자동화를 통해 경제성을 향상시켰다.

나아가 최근 한양이엔지는 CCSS의 무인화를 위한 연구개발에 박차를 가하고 있다. 우선, CCSS 장치의 모듈별 자동화부터 독성 약품의 공급에서 폐기까지 전 모듈 시스템의 풀(Full)자동화를 시작으로 궁극적으로는 무인화를 통해 반도체·디스플레이, 2차전지, 태양광 등 다양한 미래 첨단산업의 혁신을 이끌어 내고자 하고 있다.

백인학 시스템 BU(Business Unit) 상무는 “중대재해처벌법 시행 등 최근 안전이 보장된 자동화 및 무인화 장비가 요구되는 추세다. 이에 한양이엔지는 풀 자동화 시스템 개발을 기반으로 무인화를 통해 장비가 정밀하고 고도화된 작업을 수행하고자 한다. 이를 통해 오류를 최소화해 고객사의 생산 효율성을 더욱 높이고, 정확하고 미세한 농도 등을 제조해 제품의 품질을 향상 시키는 건 물론 위험 약품으로부터 노출을 최소화 시켜 작업자 및 근무환경의 안전성을 확보하는데 기여하고자 한다”고 설명했다.

▲ 한양이엔지의 ‘유기 폐액 자동화 유닛’

게다가 한양이엔지지는 CCSS와 함께 반도체·디스플레이 제조 공정에 사용되는 초정밀 화학물질의 입고-관리-검사-저장-폐기에 이르는 전 공정에 걸쳐 통합관리 서비스를 제공하는 화학물질통합관리시스템(TCMS, Total Chemical Management System)을 통해 고객의 생산성 향상과 화학물질의 공급 안정성을 높이고 있다.

대한민국의 화학중앙공급장치의 선구자인 한양이엔지는 △반도체 등 케미칼 공급장치 개발에 전념하는 ‘시스템’ BU와 △반도체 및 디스플레이 설비를 담당하는 ‘하이테크’ BU △산업플랜트, 환경 및 그린에너지, 우주항공 등 다양한 부문의 설계·조달·시공을담당하는 ‘EPC(Engineering·Procurement·Construction)’ BU 등 3개의 사업부를 운영하며 종합 엔지니어링 전문회사로 자리매김하고 있다.

창립 이후 끊임없는 연구개발과 다양한 사업수행 경험과 기술력을 축적해 독보적인 기술력을 바탕으로 한양이엔지는 국내뿐만이 아니라 해외에서도 그 능력을 인정받아 동남아시아, 인도, 미국 등 전 세계로부터 러브콜을 받고 있다.

김영서 시스템 BU 부사장은 “한양이엔지의 CCSS는 설계, 제조, 검사, 설치 단계 전반에 걸쳐서 엄격한 품질 표준에 의해 관리돼 국내외 기업들에게 호평을 듣고 있다. 앞으로도 지속적인 연구개발을 통한 CCSS의 무인화 장비 및 시스템으로 관련 글로벌 시장 점유율을 확대해 나갈 것”이라고 전했다.

한편, 한양이엔지는 혁신적인 연구 개발과 투자를 통해 변화하는 글로벌 패러다임에 맞춰 신사업모델과 신시장을 발굴해 고객의 미래가치를 높이는 것은 물론 지속가능한 성장 및 발전을 추진해 가고 있다.

반도체·디스플레이 사업은 물론 산업플랜트·가스·환경·그린에너지 및 우주항공 분야에서 최적화된 품질 및 서비스를 제공해 국내 시장을 대표하는 ‘Total Solution Provider’에서 이제 글로벌 시장을 선도하는 세계 탑-티어로서 자래미감을 더욱 공고히 할 것으로 기대된다.

▲ 한양이엔지 본사 건물