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  • 기사등록 2018-10-08 14:12:22
  • 수정 2018-10-08 15:10:34
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삼성전자의 평택공장에 이어 SK하이닉스의 M15완공으로 관련 특수가스의 수요 확대가 본격적으로 이뤄질 것으로 기대를 모으는 가운데 관련 특수가스 메이커들의 증설도 속속 이뤄지고 있어, 특수가스 업계의 시장 확대가 본격화되고 있다.


SK하이닉스는 지난 4일 충북 청주에서 신규 반도체 공장인 M15 준공식을 개최했다.


지난 2017년 4월 본공사를 시작으로 지난 8월부터 장비 반입이 시장된 M15는 축구장 8개 크기인 6만㎡로 복층으로 구성된 클린룸에서 낸드플래시를 생산하게 된다.


삼성전자의 지난해 7월 세계 최대 규모인 평택 반도체 공장을 가동한데 이어 SK하이닉스의 이번 M15 준공으로 인해 관련 특수가스의 수요가 폭발적으로 늘어날 것으로 기대되고 있다.


이미 질소의 경우 삼성전자 및 SK하이닉스의 신규 공장 수요 및 사용량 증가로 인해 타 산업에 영향을 미칠 정도로 수요가 늘어나 산업가스 시장이 지난해 말부터 수급 불안을 겪고 있는 상황이다.


질소의 경우 반도체 라인 1개당 시간당 300톤을 소비하는 등 반도체 업계에서 막대한 수요가 발생하고 있다.


반도체 수요에 맞추기 위해 기타 산업에서 질소의 부족 현상이 발생하는 등 반도체 업계의 질소 수요의 파급력이 상당한 것으로 알려지고 있다.


이에 이번 M15의 준공으로 질소 수요도 더욱 증가될 것으로 보인다.


더불어 M15의 경우 3D낸드플래시 전용으로 알려져 있다. SK하이닉스는 72단 3D낸드를 현재 생산하고 있으며, 내년에는 96단 제품을 선보일 것으로 전해지고 있다.


특히 3D낸드플래시 생산에는 화학적기상증착방법(CVD)이 주요 공정으로 자리 잡으며, 삼불화질소(NF₃)의 사용량이 대폭 증가하고 있다.


NF₃는 CVD 챔버 내에서 웨이퍼에 박막을 입힌 후 남아있는 이산화규소(SiO₂)나 질화규소(SiN₄)와 같은 불순물과 반응해 사플루오린화규소(SiF₄)로 내부를 세척하는데 사용된다.


NF₃는 낸드, D램, 파운드리 등 사용되는데 반도체 영역에서만 국내 수요에서 49%의 수요가 발생하고 있다.


이에 최근 늘어나는 수요를 감당하기 위해 국내 NF₃ 생산 전문 기업인 SK머티리얼즈는 최근 공시를 통해 NF₃의 500톤 추가 증설에 나선다고 발표하기도 했다.


원래 계획인 2,500톤 증설에서 500톤을 추가해 2019년까지 3,000톤 증설에 나서며, 증설이 완료되면 SK머티리얼즈의 NF₃ 생산능력은 1만2,100톤으로 세계에서 시장 지배력을 공고히 하게 된다.


이와 함께 WF6 또한 3D NAND 공정 시 메탈 수요가 크게 늘어날 것으로 전망돼 긍정적이다.


SK머티리얼즈의 경우 지난해 600톤 증설을 완료해 올해 말 1,200톤의 WF6 생산능력을 보일 것으로 보인다.


더불어 반도체 증착공정에 사용되는 N₂O(아산화질소) 및 모노실란과 결합해 실리콘게르마늄형태로 증착되는 GeH₄(사수소화게르마늄), 절연막 증착에 사용되는 NH₃(암모니아) 등도 이번 M15 공장 준공으로 수요가 증가할 것으로 꼽히는 품목이다.


이에 N₂O, GeH₄, NH₃ 등 반도체 제조공정에 사용되는 다양한 특수가스를 생산하는 원익머트리얼즈도 양청사업장 인근에 새롭게 투자를 단행해 공장을 증설하고 있는 것으로 전해지고 있다.


특히 원익머트리얼즈의 경우 전체 매출 중 85% 정도가 반도체 매출이고 이중 DRAM 매출이 70% 이상으로 추정돼 반도체 업계의 DRAM향 투자 확대의 수혜를 고스란히 받을 수 있을 것으로 예상되고 있다.


이외에도 C₄F8 및 CH₂F₂ 등 산화막 식각 공정에 사용되는 특수가스도 본격적으로 그 사용량이 증가할 것으로 기대를 모으고 있다.


이런 가운데 반도체 업계의 대규모 투자가 예정돼 있어 관련 특수가스의 수요는 더욱 늘어날 것으로 보인다.


삼성전자 평택 반도체 2라인의 경우 30조원이 투입돼 연내 착공을 눈앞에 두고 있다.


업계에 따르면 올해 안 착공시 2020년에 메모리 양산이 가능할 것으로 예상되며, 2라인 착공 시점에 맞춰 3, 4라인에 대한 중장기 로드맵이 나올 가능성도 큰 것으로 전해지고 있다.


SK하이닉스도 올해 말 이천 M16 공장의 착공에 들어갈 것으로 전해지고 있다. 이 공장에는 3조5,000억원이 투입돼 EUV(극자외선) 전용 공간 등이 조성될 것으로 알려지고 있다.


이처럼 국내 반도체 기업들의 대규모 투자와 함께 특수가스의 수요도 폭발적으로 증가할 것으로 보이며, 관련 특수가스 기업들의 투자도 동시에 이뤄질 것으로 기대를 모으고 있다.

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