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버슘머트리얼즈, 올해 평택 반도체 소재 연구소 신설
CMP 슬러리·세정용 케미칼 증설
200억 이상 투자, 최신 시설 갖춰
유재운 버슘머트리얼즈코리아 대표이사가 세미콘코리아 2018에서 자사의 반도체 소재 기술을 소개했다.
버슘머트리얼즈코리아(대표 유재운)가 올해 평택에 최신 시설을 갖춘 반도체 소재 연구소 준공을 통해 차세대 반도체 소재 개발에 박차를 가한다.

버슘머트리얼즈코리아는 1월31일부터 2월2일까지 서울 코엑스에서 개최된 세미콘코리아 2018에 참가했다.

이번 전시회에서 버슘머트리얼즈는 △화학기계연마(CMP, Chemical Mechanical Polishing) 공정에서 쓰이는 슬러리와 클린 소재들 △박막 증착에 사용되는 전구체 물질 TEOS(사에틸 오르토실리케이트), TiCL4(사염화 티탄), LTO-520 등 초박형 유전체 및 금속막 전구체와 관련 배송장비 △NF₃, WF6(육불화텅스텐), N₂O(아산화질소), C₄F6(육불화부타디엔), PH₃(포스핀) 등 각종 특수가스를 선보였다.

특히 유재운 버슘머트리얼즈코리아 대표는 올해 평택에 최신 시설을 갖춘 반도체 소재 연구소를 개소한다고 밝혔다.

연구소에는 200억원 이상이 투입되며, CMP슬러리 등 반도체 세정용 소재 등을 비롯한 차세대 반도체용 소재들의 연구에 적극 나서게 된다.

버슘머트리얼즈는 지난해 안산 반월공장에 800만달러 이상을 투자해 첨단 증착 소재(ADM, Advanced Deposition Materials) 기술연구소를 준공하며 반도체 미세화 및 3D용 증착용 전구체 소재의 국내 생산 및 지원을 강화한 바 있다.

유재운 버슘머트리얼즈코리아 대표이사는 “최신 시설을 갖춘 반도체 소재 연구소와 차세대 반도체 소재 공급을 통해 국내 반도체 기술 발전에 최선을 다하겠다”고 밝혔다.

한편 버슘머트리얼즈는 반도체 등 전방산업의 수요 증가로 2017년 회계연도(9월 결산)에 1,378억원의 매출을 기록해 전년대비 22.7% 증가했으며, 영업이익은 336억원으로 전년대비 73.1% 증가한 바 있다.

버슘머트리얼즈코리아는 시화·반월공장의 경우 전구체사업 및 특수가스에, 평택공장은 CMP 슬러리와 세정용 케미칼에, 버슘머트리얼즈 한양기공은 딜리버리 시스템에 특화하는 등 각각 전문성을 강화하고 있다.

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배종인 기자 (jib@amenews.kr) [기자의 다른 기사보기]
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